成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備

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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備

產(chǎn)品型號: VFR-200M/ERH

產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

將架臺上的主泵，輔助泵，皮拉尼真空計(jì)，電離真空計(jì)，閥門配管，電氣系統(tǒng)等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。 DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)配置的4種類型。易于操作適用于基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備 的詳細(xì)介紹

小型蒸發(fā)設(shè)備

DEPOX 系列

VFR-200M/ERH

ULVAC

將架臺上的主泵，輔助泵，皮拉尼真空計(jì)，電離真空計(jì)，閥門配管，電氣系統(tǒng)等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)配置的4種類型。
易于操作適用于基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

特點(diǎn)

玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時(shí)蒸發(fā)或多層蒸發(fā)（*大４層）。
蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動更為容易。
帶有調(diào)節(jié)器，可確保設(shè)置的**性。

規(guī)格

型式		VFR-200M/ERH
真空性能	極限壓力	8.0×10^-４Pa 6.0×10^-４Pa（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)）
真空性能	排氣時(shí)間	4.0×10^-３Pa/15min 3.0×10^-３Pa/15min（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)）
真空槽	真空槽	玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ300mm×高300mm)
	饋通圈	12端口(側(cè)面8/底面4)
	基板推薦尺寸?*大尺寸^※1	□50mm ? □140mm（Max）
電源系統(tǒng)	蒸發(fā)電極構(gòu)成	1點(diǎn)式
電源系統(tǒng)	蒸發(fā)電源?數(shù)量	SEREM　PSE-150C　1 式 0～10V 150A（Max)
排氣系統(tǒng)	主泵	油擴(kuò)散泵（空冷）（200L/sec)
	液體氮?dú)獠都?/span>	有
	補(bǔ)助泵	油回轉(zhuǎn)泵（100L/min）
	油霧捕集器	內(nèi)置捕集器 OMI-100
操作系統(tǒng)	主閥	蝶閥
	補(bǔ)助閥	三通閥
	自動泄露閥	選項(xiàng)
	操作	手動
控制系統(tǒng)	皮拉尼真空計(jì)	GP-1G
控制系統(tǒng)	電離真空計(jì)	GI-M2
設(shè)置	*大尺寸　　本體	730mm（W）×603mm（D）×1161mm（H）
	電源	480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H）
	質(zhì)量　　　　本體	145kｇ
	電源	40kg

※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時(shí)的值。

效用

型式		VFR-200M/ERH
所要時(shí)間	本體	100V 單相 50/60Hz 1.4kVA
所要時(shí)間	電源	200V 單相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子		Ｄ種（接地抵抗値 100Ω以下）
組合連接	本體　1Φ　100V	橡膠絕緣軟性電纜（帶R3.5-4 圧接端子） 4m
組合連接	電源　1Φ　200V	橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m