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產(chǎn)品資料

成都西野：ULVAC愛發(fā)科安裝濺射設(shè)備

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科安裝濺射設(shè)備
產(chǎn)品型號: SRH-420MC
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

成都西野：ULVAC愛發(fā)科安裝濺射設(shè)備SRH-420MC


成都西野：ULVAC愛發(fā)科安裝濺射設(shè)備  的詳細(xì)介紹
濺射裝置負(fù)載鎖定型

背面/安裝濺射設(shè)備SRH系列

背面/貼裝濺射裝置 SRH 系列是以形成功率器件、WL-CSP、UBM 等金屬膜為目的的量產(chǎn)裝置。

特征

  • 兼容Φ125至Φ200 mm板
  • 兼容超薄晶圓（兼容自動轉(zhuǎn)移*厚50μm）
  • *多支持5個(gè)進(jìn)程
  • 可配備 ISM 方法的濺射蝕刻
  • 可以通過 ESC 進(jìn)行高效冷卻

采用

  • 電源裝置
  • WL-CSP（用于電鍍種子層）
  • UBM（阻隔金屬）
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