成都西野：ULVAC愛發(fā)科多室濺射設(shè)備
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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科多室濺射設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào): MLX TM -3000N
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科多室濺射設(shè)備MLX TM -3000N
成都西野：ULVAC愛發(fā)科多室濺射設(shè)備
的詳細(xì)介紹
濺射裝置負(fù)載鎖定型
多室
濺射設(shè)備MLX TM -3000N
多室濺射設(shè)備 MLX TM -3000N 是一種用于半導(dǎo)體的薄膜沉積設(shè)備，可靈活響應(yīng)各種工藝需求并實(shí)現(xiàn)高性價(jià)比。晶圓尺寸從 75 毫米到 200 毫米不等。
特征
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支持*大 200 mm 的電路板尺寸
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通過消除污染和高精度溫度控制來控制薄膜質(zhì)量
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靈活的工藝支持，如Al嵌入、厚膜、層壓等。
