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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科多室濺射設備
產(chǎn)品型號: ENTRON TM -EX W300
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
ENTRON TM -EX W300
成都西野：ULVAC愛發(fā)科多室濺射設備
的詳細介紹
濺射裝置負載鎖定型
多室
濺射設備ENTRON TM -EX W300
Al、Cu、高熔點金屬 是單晶圓多室兼容平臺，在金屬布線工藝上有很多成就。通過將 SIS（自離子濺射）-PVD、金屬 CVD/ALD 和用于下一代工藝的 DRY 預處理模塊相結合，實現(xiàn)了*佳的性價比。
特征
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基于我們傳統(tǒng)型號 ENTRON TM -W300 / W200 系列的*新型號，改進主要旨在提高生產(chǎn)率。
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*多可安裝 8 個工藝（PVD、ALD、CVD 等），外加 2 個（脫氣、冷卻）模塊。
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配備我們的新型搬運機器人，實現(xiàn) 100wph 或更高的機械吞吐量。
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我們提供*適合專用工藝或小型晶圓廠的 S 型（單一型）和支持大型晶圓廠的 T 型（串聯(lián)型），并靈活應對客戶的生產(chǎn)計劃。
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可安裝監(jiān)控和管理設備運行狀態(tài)的ED-PMS系統(tǒng)，可安裝非接觸式膜厚測量裝置MESEC-BIT。
