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產(chǎn)品資料

成都供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科間歇式濺射設(shè)備

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產(chǎn)品名稱: 成都供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科間歇式濺射設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào): SV-200
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

成都供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科間歇式濺射設(shè)備SV-200


成都供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科間歇式濺射設(shè)備  的詳細(xì)介紹
濺射設(shè)備批量型

間歇式濺射設(shè)備SV系列

SV 系列是立式批量濺射設(shè)備。有專門用于磁盤壓模的SV-200和可以處理大量電路板的轉(zhuǎn)盤式。

特征

  • SV-4540、6040、9045為轉(zhuǎn)盤式,承印物量大,非常適合中小規(guī)?;蛐∨慷嗥贩N生產(chǎn)。
  • SV-200 Disc Stamper 專門用于鎳膜形成的設(shè)備,超緊湊,全自動(dòng),高產(chǎn)量

采用

  • 在各種基板上形成電極膜、絕緣膜、電介質(zhì)膜

規(guī)格

SV-200 SV-4540 SV-6040 SV-9045
標(biāo)準(zhǔn)排氣系統(tǒng) 8”低溫泵 12”低溫泵 12”低溫泵 16”低溫泵
達(dá)到壓力 6.7e-5Pa 6.7e-5Pa 6.7e-5Pa 6.7e-5Pa
倉(cāng)庫(kù)方向
成膜區(qū) 均勻
靜態(tài)
旋轉(zhuǎn)
Φ200mm±5% L300mm ± 10% L300mm ± 10% L400mm ± 10%
基板加熱 沒有 250℃ 250℃ 250℃
控制系統(tǒng) 自動(dòng)的 自動(dòng)的 自動(dòng)的 自動(dòng)的

不包括選項(xiàng)SV-200
渦輪泵 非水冷電極
油擴(kuò)散泵 APC 機(jī)制
多個(gè)同時(shí)存儲(chǔ)庫(kù) 換板機(jī)制
下車廠 反應(yīng)性飛濺
常規(guī)陰極
鐵磁陰極
射頻蝕刻清洗 (SV-4540)
偏置機(jī)制 (SV-4540)
產(chǎn)品留言
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