成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
產(chǎn)品型號: EGK-3M
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
成都西野供應(yīng)：日本ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
的詳細(xì)介紹
金屬膜用EB槍
EGK系列
EGK-3M
ULVAC
電子束蒸發(fā)源 EGK-3M 基于 ULVAC 多年積累和成熟的技術(shù)來提高性能和可靠性。
該蒸發(fā)源具有 4 點(diǎn)可切換爐床，*大輸入功率為 5 kW。
它有4個坩堝容量為2.9cc的坩堝，任何多層薄膜沉積都是可能的。
特征
-
采用坩堝容量為2.9cc的4點(diǎn)切換式爐床，可以進(jìn)行任意多層膜的成膜。
-
電子束偏轉(zhuǎn)225°，使其不暴露于蒸發(fā)材料上面，燈絲壽命長。
-
由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，二次電子對沉積材料的影響很小。
-
通過在X軸和Y軸方向掃描束斑，即使是可升華的物質(zhì)也可以順利蒸發(fā)，消除了局部挖掘現(xiàn)象。
-
由于發(fā)射器組件可以很容易地安裝和拆卸，因此很容易更換耗材，例如燈絲和絕緣體。
