成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

產(chǎn)品型號: EGL-110

產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

成都西野供應(yīng)：日本ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍 的詳細(xì)介紹

金屬膜用EB槍

EGL系列

ULVAC

EGL-110 電子束蒸發(fā)器是基于 ULVAC 多年積累和成熟的技術(shù)在性能和可靠性方面的改進(jìn)。
該蒸發(fā)源具有*大輸入功率為 16 kW 的爐膛。
坩堝容量高達(dá)110cc，可實現(xiàn)厚膜的高速沉積。

通過采用大容量 110cc 爐床，可以進(jìn)行大量氣相沉積。
由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，二次電子對蒸鍍材料的影響極小。
通過在X軸和Y軸方向掃描束斑，即使是可升華的物質(zhì)也可以順利蒸發(fā)，消除了局部挖掘現(xiàn)象。（擁有日本磚利 831485 和 843447）
由于電子束 270° 偏轉(zhuǎn)，燈絲具有較長的使用壽命，而不會暴露在蒸發(fā)材料的蒸汽中。
由于發(fā)射器組件可以很容易地安裝和拆卸，因此可以更換燈絲、絕緣體等。