成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀
產(chǎn)品型號: UNECS-3000A
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀UNECS-3000A
成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀
的詳細介紹
自動型
UNECS系列
UNECS-3000A
ULVAC
UNECS系列是一種光譜橢偏儀,可以高速、高精度地測量薄膜的膜厚和折射率。
采用獨特的測量方法,實現(xiàn)高速測量和緊湊性。
根據(jù)用途,我們有廣泛的產(chǎn)品陣容,從獨特的便攜型到自動平臺型和支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備。
UNECS-1500A / 2000A / 3000A 使用自動 R-θ 載物臺和自動對焦功能,可快速自動測量基材表面的膜厚分布,并以彩色 圖顯示結(jié)果。
特征
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高速測量:
采用獨特的快照方式,實現(xiàn)了高達20ms的高速測量。
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可見光譜兼容:
波長范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型(530nm至750nm)和可見光譜型(380nm至760nm)。
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緊湊型傳感器單元:
發(fā)光傳感器非常輕巧緊湊,因為它僅由沒有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的光學(xué)元件組成,并且不需要定期維護。
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豐富的產(chǎn)品陣容:
擁有獨特的便攜型、手動/自動平臺型、大型板型以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備等各種應(yīng)用的產(chǎn)品陣容。
采用
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透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測量