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產(chǎn)品名稱: ULVAC愛發(fā)科高速光譜橢偏儀
產(chǎn)品型號: UNECS-2000A
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科高速光譜橢偏儀UNECS-2000A
ULVAC愛發(fā)科高速光譜橢偏儀
的詳細(xì)介紹
自動型
UNECS系列
UNECS-2000A
ULVAC
UNECS系列是一種光譜橢偏儀，可以高速、高精度地測量薄膜的膜厚和折射率。
采用獨特的測量方法，實現(xiàn)高速測量和緊湊性。
根據(jù)用途，我們有廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨特的便攜型到自動平臺型和支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備。
UNECS-1500A / 2000A / 3000A 使用自動 R-θ 載物臺和自動對焦功能，可快速自動測量基材表面的膜厚分布，并以彩色 圖顯示結(jié)果。
特征
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高速測量：
采用獨特的快照方式，實現(xiàn)了高達(dá)20ms的高速測量。
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可見光譜兼容：
波長范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型（530nm至750nm）和可見光譜型（380nm至760nm）。
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緊湊型傳感器單元：
發(fā)光傳感器非常輕巧緊湊，因為它僅由沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)元件組成，并且不需要定期維護(hù)。
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豐富的產(chǎn)品陣容：
擁有獨特的便攜型、手動/自動平臺型、大型板型以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備等各種應(yīng)用的產(chǎn)品陣容。
采用
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透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等）的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測量
