ULVAC愛發(fā)科氣體過程監(jiān)測儀

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產品名稱: ULVAC愛發(fā)科氣體過程監(jiān)測儀

產品型號: RGM2-302

產品展商: ULVAC愛發(fā)科

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簡單介紹

成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科氣體過程監(jiān)測儀RGM2-302

ULVAC愛發(fā)科氣體過程監(jiān)測儀 的詳細介紹

反應過程

Qulee RGM2系列

RGM2-302

ULVAC

反應過程氣體監(jiān)測儀 Qulee RGM2-202 / RGM2-302 是一種帶有差分排氣系統(tǒng)的過程監(jiān)測儀，支持 Qulee 系列的蝕刻和 CVD 等反應過程。
由于 ULVAC 獨特的離子源和排氣系統(tǒng)結構，它對反應氣體具有優(yōu)異的耐腐蝕性，可長期穩(wěn)定測量。

特征

測量質量數(shù)范圍 1 至 300 amu
反應過程中可長期穩(wěn)定測量
通訊接口，以太網
采用帶磁場的 Claude 離子源
軟電離可減少氣體離解，并防止由于高靈敏度電離室中的熱反應引起的分解和吸附。
緊湊型流路控制閥
縮短了處理室到離子源的距離，可實現(xiàn)快速響應和拆卸。
10 ^-6 至 13kPa 在很寬的壓力范圍內進行測量（取決于孔板選擇）
無需PC即可測量
一鍵式功能（任何人都可以輕松操作，無需復雜操作）
連接傳感器單元后，可進行高達 120°C 的高溫烘烤。
配備離子源和二次電子倍增管預防性維護分析儀追溯功能（磚利申請中）
可進行氦氣泄漏測試、空氣泄漏測試、堆積測試
軟件作為標準安裝（與 Windows 7/8/10 兼容）

采用

蝕刻/CVD設備

監(jiān)測過程中的反應氣體
用于蝕刻和清潔過程的端點監(jiān)視器
殘余氣體測量
泄漏測試

規(guī)格

模型	RGM2-202	RGM2-302
傳感器
質量分離法	四極質譜儀
質量數(shù)范圍	1-200畝	1-300畝
解決	M / △ M = 1M (10% PH)
探測器	SEM / 法拉第杯
靈敏度	1×10 ^-3 A/Pa
*小檢測分壓	1×10 ^-10帕
離子源	帶磁鐵的封閉式離子源
燈絲	V型Ir / Y ₂ O ₂ 1
電離電壓	20-70 電子伏特
發(fā)射電流	10μA
安培范圍	1×10 ^-5 ~ 1×10 ^-12 A
烘烤溫度	120℃
差速排氣系統(tǒng)
氣體導入閥	帶孔流量控制閥
*大采樣壓力	13kPa
差速排氣系統(tǒng)	中間排氣，帶吹掃的 TMP
渦輪分子泵	67升/秒：N2
前級泵	DIS090
皮拉尼真空計	SW1-1
電離真空計	GI-M2
大量的	排氣系統(tǒng)：57kg / 控制系統(tǒng)：38kg
效用
電源電壓	AC100V 15A
壓縮的空氣	Dry N ₂ : 0.4 至 0.7MPa (O6 一鍵式接頭)
控制單元
一鍵式功能	是 / He / H ₂ O / N ₂ / O ₂ / 任何氣體
外部輸入/輸出	2 個模擬輸入 (0-10V)
	2 個設定點輸出（異常、警告）
	外部聯(lián)鎖（壓力保護）
其他
烘烤加熱器	帶式加熱器
高度調節(jié)架	標準
傳感器單元和控制單元之間的連接電纜	約5m
界面	以太網
軟件	Qulee QCS Ver.3.1 或更高版本（兼容Windows 7/8/10）
選項	個人電腦