成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀
產(chǎn)品型號: CGM2-052
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀CGM2-052
成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀
的詳細介紹
高壓工藝（濺射工藝）
Qulee CGM2系列
CGM2-052
ULVAC
ULVAC 的新型殘余氣體分析儀/工藝氣體監(jiān)測儀 (RGA)，可在高壓（1 Pa 或更?。┫聦崿F(xiàn)高精度和高分辨率，具有簡單性和易用性。
引入過程監(jiān)視器的新標準，體現(xiàn)各種生產(chǎn)線上的設(shè)備工程師的聲音。
濺射設(shè)備的過程控制（質(zhì)量改進、良率改進）的理想選擇。
特征
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濺射工藝的理想選擇
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顯示一體化設(shè)計：無需個人電腦即可測量
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操作簡單——一鍵式功能......任何人都可以輕松操作，無需復(fù)雜的操作
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過程監(jiān)控無需差動排氣系統(tǒng)...可測量1Pa以下，可節(jié)省空間
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加強檢漏功能，可進行高靈敏度檢漏
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總壓力測量是可能的
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Qulee QCS 軟件是標準設(shè)備
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兼容 CE 標準
采用
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用于濺射設(shè)備的殘留氣體分析、過程監(jiān)控和雜質(zhì) (H 2 O) 管理
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用于濺射設(shè)備的泄漏測試
規(guī)格
解決
M / △ M = 1M (10% PH)
