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產(chǎn)品資料

ULVAC愛發(fā)科冷陰極電離真空計(jì)

如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: ULVAC愛發(fā)科冷陰極電離真空計(jì)
產(chǎn)品型號(hào): SC1
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科冷陰極電離真空計(jì)SC1


ULVAC愛發(fā)科冷陰極電離真空計(jì)  的詳細(xì)介紹

冷陰極電離真空計(jì)

SC1

SC1

ULVAC

G-TRAN系列是以(1)降低設(shè)備成本、(2)節(jié)省空間、(3)節(jié)省布線的概念開發(fā)的真空計(jì),用于集中過程控制和各種設(shè)備的小型化。.. 
它由一個(gè)傳感器單元和一個(gè)顯示單元的基本單元組成,可以根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行組合。

特征

  • 測針與測量電路一體化結(jié)構(gòu)
  • 模擬輸出和設(shè)定值輸出
  • 獨(dú)立的偽對(duì)數(shù)輸出和設(shè)定值輸出(顯示單元)
  • 采用 48 x 96 mm DIN 標(biāo)準(zhǔn)尺寸(顯示單元)

采用

  • 用于半導(dǎo)體和電子零件等各種制造設(shè)備的過程控制
  • 用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的過程控制
  • 用于在線式和單晶片式等具有多個(gè)工藝室的各種制造設(shè)備的工藝控制

規(guī)格

類型 傳感器單元
模型 SC1
自適應(yīng)觸控筆 C-21、23、24、25
測量壓力范圍 1.0 × 10 -5至 1.0 Pa
測量精度 + 100%, -50% (1.0 x 10 -4到 1.0 x 10 -1 )
工作溫度限制 10-40℃
測量值輸出 非線性輸出:DC0V 至 10V(HV-OFF 時(shí)為 10V)
SET POINT1 / 2 調(diào)整輸出 非線性輸出:DC0-10V
控制輸入信號(hào) 高壓開/關(guān)
輸出信號(hào) 集電極開路,負(fù)邏輯
控制輸出信號(hào) 放電確認(rèn)/設(shè)定點(diǎn) 1/2
LED顯示屏 功率、高壓、壓力保護(hù)、設(shè)定點(diǎn) 1/2
電源 DC24V±2V,150mA
輸入/輸出連接器 D-sub-15 針(M2.6 螺絲)
身體質(zhì)量 430g(不含觸控筆)
配件 1組輸入/輸出連接器
1份快速手冊(cè)

* IO、模擬地和電源地沒有隔離。

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