成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵

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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵

產(chǎn)品型號(hào): UTM300B

產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

使用陶瓷球軸承的復(fù)合葉片式渦輪分子泵。通過集成控制器和泵實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間。優(yōu)異的高背壓特性使輔助泵的小型化成為可能。

成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵 的詳細(xì)介紹

渦輪分子泵

UTM-B系列

ULVAC

使用陶瓷球軸承的復(fù)合葉片式渦輪分子泵。
通過集成控制器和泵實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間。
優(yōu)異的高背壓特性使輔助泵的小型化成為可能。

模型			UTM300B
冷卻方式			自然風(fēng)冷	強(qiáng)制風(fēng)冷
進(jìn)氣口側(cè)法蘭*1			VG100、ICF152、ISO100-K
排氣口側(cè)法蘭			KF16
排氣速度（不帶防護(hù)網(wǎng)）		氮₂	280升/秒
		他	270升/秒
		H ₂	220升/秒
極限壓力（使用二級(jí)輔助泵時(shí)）	烘烤后		* 2	10-8Pa
	烘烤前		10 ^-6帕	10 ^-6帕
*大壓縮比			N ₂ :> 1 × 10 ⁹ , He: 7 × 10 ⁶ , H ₂ : 1 × 10 ⁵
大進(jìn)氣壓力3、4、5		氮₂	0.06Pa	0.7Pa
大排氣口壓力3、4、6		氮₂	100Pa	1000Pa
連續(xù)運(yùn)行大流量7 使用輔助泵時(shí)120L/min	無氣體吹掃	氮₂	10sccm	100sccm
	無氣體吹掃	氬	――――	30 立方厘米
	帶氣體吹掃		――――	40sccm
推薦輔助泵（10SCCM吸入時(shí)）*8			120L/min以上
大量的	VG、ISO/ICF		6公斤/9公斤	6.3公斤/9.3公斤
旋轉(zhuǎn)速度			60000轉(zhuǎn)
啟動(dòng)時(shí)間（*高80%）（DC24V背壓5Pa以下時(shí)）			3.5 分鐘
表面處理*9			沒有
安裝方向			每個(gè)方向
噪音 * 10			小于 50 分貝 (A)
標(biāo)準(zhǔn)配件			使用說明書（日文和英文）、防護(hù)網(wǎng)帽（僅VG、ICF、墊片內(nèi)置 ISO 法蘭）、墊片（進(jìn)氣口用）、防塵帽（進(jìn)氣口、排氣口、連接器用）各 1 個(gè)

* 1	訂購時(shí)請(qǐng)選擇VG100、ICF152、ISO100-K。
* 2	只有在對(duì) ICF 法蘭使用強(qiáng)制風(fēng)冷時(shí)才能進(jìn)行烘烤。
* 3	這是環(huán)境溫度為 25°C 時(shí)的值。允許值隨環(huán)境溫度變化而變化。
*四個(gè)	大進(jìn)氣口壓力和大排氣口壓力不能同時(shí)滿足。
*五	允許連續(xù)排氣的*大進(jìn)氣口壓力。
* 6	當(dāng)來自進(jìn)氣口的廢氣流量為0 sccm時(shí)，排氣口可連續(xù)工作的*大壓力。
* 7	這是環(huán)境溫度為 5 至 25°C 時(shí)的值。請(qǐng)使用N _{2氣體 25sccm ，氣體吹掃。}
* 8	如果氣體量大，選擇輔助泵，使排氣口壓力低于*大排氣口壓力。
* 9	請(qǐng)勿讓反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體或含 Ga 氣體流動(dòng)。請(qǐng)與我們聯(lián)系以獲取其他信息。
*十	ISO法蘭型。根據(jù)我們的測(cè)量方法。