成都西野供應(yīng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵

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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵

產(chǎn)品型號(hào): UTM2300A

產(chǎn)品展商: ULVAC愛(ài)發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

帶有使用磁軸承的集成控制器的渦輪分子泵。通過(guò)集成泵體和控制器，實(shí)現(xiàn)了布線和節(jié)省空間。

成都西野供應(yīng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵 的詳細(xì)介紹

渦輪分子泵

UTM-MI系列

UTM2300A

ULVAC

帶有使用磁軸承的集成控制器的渦輪分子泵。
通過(guò)集成泵體和控制器，實(shí)現(xiàn)了布線和節(jié)省空間。

特征

泵體與控制器一體化
安裝方向自由
由于沒(méi)有安裝方向的限制，因此擴(kuò)大了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
排氣速度從 1000L/s 到 4000L/s 的陣容。
輕工藝的大面積大流量設(shè)計(jì)
泵轉(zhuǎn)速可在25-100%的范圍內(nèi)變化，轉(zhuǎn)速可改變，腔室壓力可調(diào)節(jié)。
高耐久性和**性
我們通過(guò)了各種**確認(rèn)測(cè)試，例如大氣進(jìn)入測(cè)試和著陸測(cè)試。

采用

各種設(shè)備的真空主排氣系統(tǒng)
、半導(dǎo)體制造設(shè)備
、蒸鍍?cè)O(shè)備
、濺射設(shè)備
、分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等
、研發(fā)設(shè)備
無(wú)副反應(yīng)產(chǎn)物的輕工藝主排氣系統(tǒng)
更換油擴(kuò)散泵車載設(shè)備
此外，一般高真空排氣應(yīng)用

規(guī)格

模型			UTM1200A	UTM1600A	UTM2300A	UTM3400A
進(jìn)氣口			VG150 ISO160F	VG200 / VG250 ISO200F / ISO250F	VG250 ISO250F	VG300 / VG350 ISO320F
排氣口			KF40
極限壓力 (* 1)		帕	10 ^-7
排氣速度 (* 2) (* 3)	N2	升/秒	1030	1400	2100	3200
	氬	升/秒	980	1330	2000	3100
	H2	升/秒	660	750	1380	2100
壓縮率	N2		2×10 ⁸		1 x 10 ⁸或更多	1 x 10 ⁹或更多
	他		7 × 10 ³		5×10 ³	1×10 ⁵
	H2		8 × 10 ²		9 × 10 ²	6 × 10 ³
大進(jìn)氣壓力 ( 4)		帕	26		4.5 4.5	7
大排氣口壓力 ( 4)		帕	266		200	270
旋轉(zhuǎn)速度		min-1	37200		33700	27600
可變轉(zhuǎn)速功能			運(yùn)行轉(zhuǎn)速可在泵指定轉(zhuǎn)速的 25% 和 100% 之間變化。（設(shè)置以 0.1% 為單位）
啟動(dòng)時(shí)間			8分鐘內(nèi)		9分鐘內(nèi)	16分鐘內(nèi)
安裝方向			可全方位安裝
表面處理（*5）			沒(méi)有
外部控制	遠(yuǎn)程接口		D-sub 25針母接點(diǎn)輸入/輸出		D-sub 37針母接點(diǎn)輸入/輸出
	串行接口		專用圓形連接器 RS232C / RS485		D-sub 9 針公頭 RS232C / RS485
控制器	憲法		與泵體一體化（內(nèi)置于底部）
	電源		單相 AC200-240V ± 10% (50 / 60Hz ± 2Hz)
	*大所需功率		0.75kVA		1.2kVA
冷卻方式			水冷
冷卻水（* 6）	流量	升/分鐘	3-4
	水壓力	兆帕克	0.2-0.4
噪音		分貝 (A)	57 57		60
大量的		公斤	43	41 41	56	94
推薦的輔助泵（* 7）			600L/min以上		1500L/min以上
符合標(biāo)準(zhǔn)			CE, TUVus
標(biāo)準(zhǔn)配件			進(jìn)氣口 O 型圈（僅VG）、排氣口防塵蓋、遙控器連接器、使用說(shuō)明書(shū)（CD-ROM）
選擇規(guī)格	交流電纜		AC連接器/AC電纜（5m / 10m / 15m / 20m）
	固定泵的專用螺栓		M10（不符合 RoHS/符合 RoHS）/M12（不符合 RoHS/符合 RoHS）
固定泵專用螺栓的必要性			需要 (M10) (* 8)	不需要 (* 8)
可選配件			氣口適配器：KF10