成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵

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產品名稱: 成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵

產品型號: UTM1600A

產品展商: ULVAC愛發(fā)科

產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

帶有使用磁軸承的集成控制器的渦輪分子泵。通過集成泵體和控制器，實現了布線和節(jié)省空間。

成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵 的詳細介紹

渦輪分子泵

UTM-MI系列

UTM1600A

ULVAC

帶有使用磁軸承的集成控制器的渦輪分子泵。
通過集成泵體和控制器，實現了布線和節(jié)省空間。

特征

泵體與控制器一體化
安裝方向自由
由于沒有安裝方向的限制，因此擴大了設備設計的自由度。
排氣速度從 1000L/s 到 4000L/s 的陣容。
輕工藝的大面積大流量設計
泵轉速可在25-100%的范圍內變化，轉速可改變，腔室壓力可調節(jié)。
高耐久性和**性
我們通過了各種**確認測試，例如大氣進入測試和著陸測試。

采用

各種設備的真空主排氣系統(tǒng)
、半導體制造設備
、蒸鍍設備
、濺射設備
、分析設備、實驗設備等
、研發(fā)設備
無副反應產物的輕工藝主排氣系統(tǒng)
更換油擴散泵車載設備
此外，一般高真空排氣應用

規(guī)格

模型			UTM1200A	UTM1600A	UTM2300A	UTM3400A
進氣口			VG150 ISO160F	VG200 / VG250 ISO200F / ISO250F	VG250 ISO250F	VG300 / VG350 ISO320F
排氣口			KF40
極限壓力 (* 1)		帕	10 ^-7
排氣速度 (* 2) (* 3)	N2	升/秒	1030	1400	2100	3200
	氬	升/秒	980	1330	2000	3100
	H2	升/秒	660	750	1380	2100
壓縮率	N2		2×10 ⁸		1 x 10 ⁸或更多	1 x 10 ⁹或更多
	他		7 × 10 ³		5×10 ³	1×10 ⁵
	H2		8 × 10 ²		9 × 10 ²	6 × 10 ³
大進氣壓力 ( 4)		帕	26		4.5 4.5	7
大排氣口壓力 ( 4)		帕	266		200	270
旋轉速度		min-1	37200		33700	27600
可變轉速功能			運行轉速可在泵指定轉速的 25% 和 100% 之間變化。（設置以 0.1% 為單位）
啟動時間			8分鐘內		9分鐘內	16分鐘內
安裝方向			可全方位安裝
表面處理（*5）			沒有
外部控制	遠程接口		D-sub 25針母接點輸入/輸出		D-sub 37針母接點輸入/輸出
	串行接口		專用圓形連接器 RS232C / RS485		D-sub 9 針公頭 RS232C / RS485
控制器	憲法		與泵體一體化（內置于底部）
	電源		單相 AC200-240V ± 10% (50 / 60Hz ± 2Hz)
	*大所需功率		0.75kVA		1.2kVA
冷卻方式			水冷
冷卻水（* 6）	流量	升/分鐘	3-4
	水壓力	兆帕克	0.2-0.4
噪音		分貝 (A)	57 57		60
大量的		公斤	43	41 41	56	94
推薦的輔助泵（* 7）			600L/min以上		1500L/min以上
符合標準			CE, TUVus
標準配件			進氣口 O 型圈（僅 VG）、排氣口防塵蓋、遙控器連接器、使用說明書（CD-ROM）
選擇規(guī)格	交流電纜		AC連接器/AC電纜（5m / 10m / 15m / 20m）
	固定泵的專用螺栓		M10（不符合 RoHS/符合 RoHS）/M12（不符合 RoHS/符合 RoHS）
固定泵專用螺栓的必要性			需要 (M10) (* 8)	不需要 (* 8)
可選配件			氣口適配器：KF10