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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵
產(chǎn)品型號: UTM-350FH
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
一種復合葉片式渦輪分子泵，采用數(shù)字式 5 軸控制磁力軸承。
UTM-FH和UTM-FW采用數(shù)字5軸控制磁浮軸承，實現(xiàn)了高功能、高可靠性和節(jié)能等優(yōu)點。
FH系列是高背壓高壓縮型，適用于輕中級工藝，提高氫氣壓縮比，F(xiàn)W系列是高頻大流量型，適用于高負荷工藝和中硬工藝
成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵
的詳細介紹
渦輪分子泵
UTM-FH系列
UTM-350FH
ULVAC
一種復合葉片式渦輪分子泵，采用數(shù)字式 5 軸控制磁力軸承。
UTM-FH和UTM-FW采用數(shù)字5軸控制磁浮軸承，實現(xiàn)了高功能、高可靠性和節(jié)能等優(yōu)點。
FH系列是高背壓高壓縮型，適用于輕中級工藝，提高氫氣壓縮比，F(xiàn)W系列是高頻大流量型，適用于高負荷工藝和中硬工藝，請給我。
特征
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配備監(jiān)控/自我診斷功能和通訊功能，可以通過數(shù)字化支持集中管理系統(tǒng)。
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配備無耦合系統(tǒng)。一個電源可以通過切換型號與注冊的泵體組合運行。
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配備變速系統(tǒng)。排氣速度可以在 25% 到 100% 的范圍內變化。
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由于它具有出色的耐腐蝕表面處理，特殊的表面處理/內部升溫系統(tǒng)可作為進一步硬加工的選項。（FW系列）
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采用破壞性能量吸收結構，在發(fā)生故障時減少設備損壞的高度**設計。
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CE 兼容
采用
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作為中硬工藝的主泵（FW系列）
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作為輕中制工藝的主泵（FH系列）
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作為各種實驗設備等高至超高真空排氣的主泵。
規(guī)格
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* 1
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根據(jù)JVIS005標準測量值或根據(jù)測量值計算值
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* 2
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不帶保護絲網(wǎng)的價值
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