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產品名稱: ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
產品型號: LR系列 LR600
產品展商: ULVAC愛發(fā)科
產品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
ULVAC
干式真空泵 LR 系列通過使用我們獨特的高溫均熱技術有效地利用壓縮熱，在 CVD 和蝕刻等硬工藝中實現(xiàn)了高耐久性。
ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
的詳細介紹
多級羅茨干式真空泵
LR系列
LR600
ULVAC
干式真空泵 LR 系列通過使用我們獨特的高溫均熱技術有效地利用壓縮熱，在 CVD 和蝕刻等硬工藝中實現(xiàn)了高耐久性。
在輕量化過程中，與 ECO-SHOCK 結合使用可將功耗降低多達 80% 左右。
此外，為了提高可維護性和降低噪音，所有型號都兼容 CE（可選）。
有關 ECO-SHOCK 的更多信息，請參閱相關信息。
特征
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LR系列：
除低溫區(qū)均熱惰性氣體排氣外，z適用于制劑取出室排氣，縮短排氣時間對提高生產量尤為重要。
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HR系列/UR系列：
可以在高溫區(qū)域以氣態(tài)排放熱化CVD、蝕刻等產生的升華廢氣。
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1000毫秒內瞬間停電對策
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CE 兼容（可選）
利用
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惰性氣體（CVD、干法蝕刻等）
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惰性氣體排放（濺射、氣相沉積、熱處理等）
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縮短準備取出室的排氣時間（LR系列）
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制粉過程中的排氣（Si單晶拉制等）
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作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）
規(guī)格
* 訂貨時請注明工作電壓。
* 請勿在 200 Pa 或更高的吸入壓力下連續(xù)運行 HR300、HR / UR600 和 HR / UR1200。泵溫度可能會變得異常，聯(lián)鎖裝置可能會工作。
* LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可選擇帶或不帶表面處理。
* JIS 法蘭是進氣口的標準。如果它是 CE 兼容的，它將是 NW 類型。
* 1 可用于氣體松動的規(guī)格可根據應用進行估算。
■ 消音器（選項）
■ 型號兼容性表
