成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵

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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵

產(chǎn)品型號: PRC-003A

產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

ULVAC PRC 系列是機械增壓泵，主要設計用于要求特別清潔的半導體和液晶制造工藝。采用封閉式電機，不會發(fā)生軸封部分的漏油現(xiàn)象。也可選擇常壓驅(qū)動型。

成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵 的詳細介紹

機械增壓泵

ULVAC

PRC 系列是機械增壓泵，主要設計用于要求特別清潔的半導體和液晶制造工藝。
采用封閉式電機，不會發(fā)生軸封部分的漏油現(xiàn)象。也可選擇常壓驅(qū)動型。

特征

由于無油
外殼中沒有潤滑油，因此對于蒸汽和溶劑等蒸汽可以獲得穩(wěn)定的性能。
采用
封閉式電機通過采用封閉式電機，我們能夠消除大氣/真空的機械密封。您可以在干凈的環(huán)境中使用，不用擔心漏油。
表面處理，耐腐蝕性能好
主要部件采用氧化鋁處理，表面硬度高，耐腐蝕性能好，防止泵內(nèi)劃傷和腐蝕。沒有表面處理可供選擇。
可有效縮短排氣時間的大氣壓驅(qū)動型（選件：變頻器）
由于可與低真空泵同時啟動，因此與標準型相比，可縮短排氣時間。
除了特殊應用的可選
標準外，我們還有特殊應用的模型。

使用示例	類型	適用機型	表面處理	油
通過對空氣和惰性氣體排放進行表面處理，提高了抗異物的強度	標準	PRC-003A、PRC-006A、 PRC-012A、PRC-018A	〇^{* 1}	R-42 礦物油
當您想要抑制由于吸附空氣或惰性氣體排出水分而導致的極限壓力的影響時	X	PRC-003A-X、PRC-006A-X、 PRC-012A-X、PRC-018A-X	?	R-42 礦物油
防止因腐蝕性氣體、可燃性氣體和氧化性氣體引起的油品變質(zhì) 表面處理提高了對異物的抵抗力	F	PRC-003A-F、PRC-006A-F、 PRC-012A-F、PRC-018A-F	〇	J25F ^*2 氟油

*1 經(jīng)表面處理，廢氣可能會因吸濕而受到廢氣的影響。
* 2 使用氟油進行裝配檢查，但不包括在內(nèi)。如有需要，將另行安排。

利用

沉積、濺射、離子鍍
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
分析設備、泄漏測試設備
氣體置換、充填、真空絕熱
熱處理爐、熔煉爐
其他各種真空設備

規(guī)格

型號 * 1			PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	中國-018A
*大排氣速度		50赫茲	280 米³ / 小時（4670 升 / 分鐘）	500 米³ / 小時（8330 升 / 分鐘）	1000 米³ / 小時（16700 升 / 分鐘）	1500 米³ / 小時（25000 升 / 分鐘）
		60赫茲	330 米³ / 小時（5500 升 / 分鐘）	600 米³ / 小時（10000 升 / 分鐘）	1200米³ /小時（20000升/分鐘）	1800 米³ / 小時（30000 升 / 分鐘）
*大吸入壓力		50赫茲	1.2×10 ³帕	1.3×10 ³帕		1.2×10 ³帕
		60赫茲	9.3×10 ²帕	1.1×10 ³帕		9.3×10 ²帕
*大允許壓差		50赫茲	4.0×10 ³帕	7.3×10 ³帕		4.3×10 ³帕
		60赫茲	3.3×10 ³帕	6.0×10 ³帕		3.2×10 ³帕
極限壓力*2			4.0×10 ^-1帕		6.7×10 ^-1帕
驅(qū)動壓力			~ 1.0 x 10 ⁵ Pa (大氣壓驅(qū)動型)
電機 * 3	格式		罐式三相感應電動機
	高效率等級		-
	輸出		0.75 kW（2極數(shù)）	2.2 kW（2極數(shù)）	3.7 kW（2極數(shù)）	5.5 kW（2極數(shù)）
	電壓（200V級電機）	50赫茲	200 伏
		60赫茲	200/220 伏
使用油 * 4			ULVOIL R-42
所需油量			0.7 升	1.5升	1.9 升
冷卻方式			水冷
冷卻水	初級壓力		0.3 兆帕
	門口壓差		0.01 Mpa以上
	冷卻水量		2升/分鐘		32升/分鐘
	冷卻水溫*5		5-30℃
進氣口直徑 JIS-B-2290			相當于VG80		相當于VG100	相當于VG150
排氣直徑JIS-B-2290			相當于VF80			相當于 VF100
外形尺寸W×D×H*6			296 x 575 x 260 毫米	356 x 619 x 320 毫米	406 x 759 x 340 毫米	406 x 989 x 340 毫米
大量的			51 公斤	86 公斤	118 公斤	150 公斤
標準輔助泵			VD60C	VD90C	VS2401	VS2401
標準配件			1份使用說明書，1單位機油

注）本規(guī)格表使用SI單位制。非 SI 單位制的換算如下。
4.0 x 10 ^-1 帕 = 3.0 x 10 ^-3托

* 1 標準產(chǎn)品有表面處理（陽極氧化膜）。您可以選擇不進行表面處理。
* 2 用皮拉尼真空計測量（輔助泵，使用的油是標準的）。
* 3 不提供防爆和防爆。
* 4 可選擇合成油（R-7000）和氟油（J25F）作為選項。
* 5 請在沒有結(jié)露的環(huán)境中使用。
* 6 關于其他尺寸，請參考我們網(wǎng)站上發(fā)布的 CAD 數(shù)據(jù)。