主要用于半導(dǎo)體及液晶制造工序檢測使用的藥液、純水等的液面或漏液、晶元匹配用光纖單元或LED等微小部品的落下檢測用光纖單元等特定用途的光學(xué)式傳感器系列。

主要用于檢測半導(dǎo)體?液晶制造時的露光、洗凈、熱處理工序所使用的藥液、純水等的液面、漏液，采用獨自的光學(xué)系實現(xiàn)了穩(wěn)定檢測、省空間，支持失效保護(hù)。 晶元匹配時使用的狹光光纖單元、LED等微小部品的落下檢測用光纖單元采用適合用途的光學(xué)設(shè)計及筐體設(shè)計，使高檢測性能與省空間得到了統(tǒng)一，減少了調(diào)整工時，也提高了維護(hù)性。

外觀	產(chǎn)品名/型號	用途	海外標(biāo)準(zhǔn)
	管安裝液面光纖 HPF-T032/HPF-T034	用于罐液面的上下限檢測的2種檢測方式、對應(yīng)失效保護(hù)。	-
	放大器內(nèi)置管安裝液面?zhèn)鞲衅?br /> HPQ-T Series	只需安裝在管上即可簡單地檢測液面。
	罐插入光纖 HPF-D027/HPF-D033	全樹脂構(gòu)造物無金屬污染。
	放大器內(nèi)置漏液傳感器 HPQ-Dseries	放大器內(nèi)置、不需吸紙，可對應(yīng)多種液體。 （酸?堿系藥液及IPA、純水、氟化液、全氟聚醚的漏液檢測）	* 詳情請向本公司銷售部門咨詢
	放大器內(nèi)置漏液傳感器 HPQ-DP Series	放大器內(nèi)置、不需吸紙，可對應(yīng)多種液體。 （純水、工業(yè)水、氟化液、全氟聚醚的漏液檢測）
	漏液傳感器 HPF-D040	PFA保護(hù)本體和纜線、省空間。采用光纖方式可在防爆環(huán)境使用。	-
	小型部品通過檢測用光纖 HPF-T047	根據(jù)管徑匹配的適配器可提高了檢測穩(wěn)定性	-
	晶元匹配用光纖 HPF-T030	能可靠地檢測FOUP、開放式盒內(nèi)的300mm晶元	-