日本USHIO牛尾旋轉(zhuǎn)涂膜儀SpinCoater MS-A300四川成都優(yōu)勢(shì)供應(yīng)
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產(chǎn)品名稱: 日本USHIO牛尾旋轉(zhuǎn)涂膜儀SpinCoater MS-A300四川成都優(yōu)勢(shì)供應(yīng)
產(chǎn)品型號(hào): MS-A300
產(chǎn)品展商: 日本USHIO牛尾
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
日本USHIO牛尾旋轉(zhuǎn)涂膜儀SpinCoater MS-A300四川成都優(yōu)勢(shì)供應(yīng)
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的詳細(xì)介紹
基板尺寸 ：MAXΦ12Inch(200 ×200mm)
**互鎖：蓋可選，真空標(biāo)準(zhǔn)裝備
電源: AC100～240V 50/60Hz 5A
轉(zhuǎn)速（rpm）：0及20～5,000
滴下裝置：可選(*多可安裝2個(gè)臂）
外形尺寸(mm):540W×460H×630D
旋轉(zhuǎn)精度：±1rpm（負(fù)載時(shí)）
使用的真空源：-0.08～-0.1MPa
旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑: Φ220mm
蓋：材質(zhì)/亞克力
空氣及N２空氣：0.3Mpa（上部汽缸用）
馬達(dá): AC伺服電機(jī)
重量: 44kg
編程功能：100步長(zhǎng)×10模式轉(zhuǎn)速、
時(shí)間(999.9sec)、
slopeposition調(diào)用編程N(yùn)o.
切換真空模式切換真空壓力等
顯示密鑰保護(hù)功能
