晶圓檢測顯微鏡（成像分析）52XA-1200M成都西野
一、產(chǎn)品介紹：
晶圓檢測顯微鏡52XA-1200M采用了當今*為先進的光學顯微鏡與現(xiàn)代成像分析融為一體的圖像測量技術，主要用于光伏行業(yè)太陽能電池硅片、LED芯片、IC芯片、半導體晶圓、液晶板、ITO導電玻璃、印刷線路板等結(jié)構(gòu)或表面缺陷檢測，系統(tǒng)配置了三目大工作臺正置金相顯微鏡52XA、1200萬高清晰數(shù)字攝像頭及圖像測量管理軟件，可對硅片芯片圖像進行拍照、測量、編輯和保存輸出等多種操作。 晶圓檢測顯微鏡52XA采用上等的光路系統(tǒng)，配置了落射與透射照明系統(tǒng)、長距平場消色差物鏡、內(nèi)置偏光觀察裝置，具有圖像清晰、襯度好，造型美觀，操作方便等特點。 二、系統(tǒng)配置：
序號
配置名稱
主要規(guī)格參數(shù)
1
三目正置金相顯微鏡52XA
50-800X
2
1200萬高清晰數(shù)字攝像頭
1200萬像素，圖像測量軟件
3
攝像接口MCL
1X或者0.5X
4
標尺
0.01mm
三、顯微鏡技術參數(shù)：
名稱
技術參數(shù)
01
平場目鏡
大視野 WF10X(Φ18mm)
02
長距平場物鏡
PLL5X/0.12、10X/0.25、20X/0.40、40X/0.60、80X/0.80
03
總放大倍數(shù)
50X-800X
04
觀察頭
三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進行切換)
05
轉(zhuǎn)換器
五孔 (外向式滾珠內(nèi)定位)
06
調(diào)焦范圍
粗微動同軸, 微動格值0.7μm, 粗動松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置
07
載物臺
三層機械移動式尺寸: 280mmX270mm,移動范圍: 204mmX204mm
08
光瞳距離
53-75mm
09
濾色片
藍、磨砂
10
落射照明系統(tǒng)
6V 20W鹵素燈,亮度可調(diào)
帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片,(黃,藍,綠)濾色片和磨砂玻璃
11
儀器重量
凈重11.0公斤 毛重12.5公斤
12
儀器尺寸
儀器尺寸42X45X45（cm） 包裝尺寸45X50X50(cm)
蓉公網(wǎng)安備 51012402000290號
